自动准直论文

天光一号预放大器自动准直技术研究
论文摘要天光一号高功率KrF准分子激光装置采用光学角多路实现了六束激光的主振荡功率放大,其光路复杂,人工调节繁琐,指向精度难以保证,且激光波长为248nm,属于深紫外波段,无法...