• 锥形内表面干涉测量误差分析

    锥形内表面干涉测量误差分析

    论文摘要为了实现对回转锥形内表面的形貌精密测量,分析了干涉测量中误差产生的原因,明确了误差对测量结果造成的影响。通过在圆柱坐标系下建立数学模型,推导出偏移误差和角度误差的数学公...