装配误差论文

Mirau型干涉显微物镜干涉平板装配误差容限分析
论文摘要针对Mirau型干涉显微物镜中干涉平板的装配误差问题,建立了参考板倾斜时的干涉光强表征模型,通过对光瞳面内测试光束和参考光束的分割,求解参考板倾斜时干涉光强的积分表达形...