中频非平衡磁控溅射论文

锆管表面沉积Cr-TiAlSiN复合涂层的表面形貌与性能研究（英文）
论文摘要分别采用多弧离子镀和中频非平衡磁控溅射工艺,在锆合金管材基体上制备Cr-TiAlSiN复合涂层。利用扫描电镜对复合涂层的表面及截面微观形貌进行观察;利用ImageJ软件...