直流射频耦合论文

射频溅射功率对室温沉积AZO薄膜性能的影响
论文摘要本文采用直流射频耦合磁控溅射技术,在玻璃基底上室温沉积AZO薄膜,将射频电源功率从0W增加到到200W。通过X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、紫外分光光...