直流磁控溅射论文
![Si/Ti原子比对TiO2-SiO2复合薄膜亲水性能与摩擦磨损性能的影响]()
Si/Ti原子比对TiO2-SiO2复合薄膜亲水性能与摩擦磨损性能的影响
论文摘要采用直流（DC）反应磁控溅射法在玻璃上制备了不同Si/Ti原子比的TiO2-SiO2复合薄膜。使用X射线衍射仪（XRD）、场发射扫描电子显微镜（SEM）、X射线光电子能...![脉冲偏压对直流磁控溅射沉积MoN薄膜结构及性能的影响]()
脉冲偏压对直流磁控溅射沉积MoN薄膜结构及性能的影响
论文摘要MoN薄膜是一种具有潜在应用价值的薄膜材料,但对于其结构和性能的研究还较少。采用直流磁控溅射技术在304不锈钢基体表面沉积MoN薄膜,研究了脉冲偏压对MoN薄膜结构和性...![直流和高功率磁控溅射制备氮化铬薄膜及其结构性能比较]()
直流和高功率磁控溅射制备氮化铬薄膜及其结构性能比较
论文摘要目的比较直流磁控溅射(DCMS)和高功率磁控溅射(HiPIMS)两种沉积技术制备的氮化铬(CrN)薄膜的结构和性能。方法采用DCMS和HiPIMS沉积技术,在金属镍(N...![温度对AZO薄膜红外辐射性能的影响（英文）]()
温度对AZO薄膜红外辐射性能的影响（英文）
论文摘要随着全球资源的减少和环境的恶化,节能减排已成为人们关注的焦点,具有保温隔热功能的低辐射玻璃成为研究的热点。提高玻璃保温隔热性能最有效的方法就是在其表面涂覆低辐射率层。原...![ITO靶材的直流磁控溅射镀膜工艺研究]()
ITO靶材的直流磁控溅射镀膜工艺研究
论文摘要对ITO靶材的直流磁控溅射工艺进行研究,通过正交试验方法确定制备ITO薄膜的最优工艺参数,并明确了溅射温度、氧氩比、溅射气压和溅射功率密度对ITO薄膜电阻率和可见光透过...
