真空阴极弧沉积论文

(Ti,Ta)N三元薄膜的制备和表征
论文摘要在用真空阴极弧制备TiN和TaN两种薄膜的基础上,采用两个独立的金属弧源同时放电的方法成功制备出（Ti,Ta）N三元薄膜。通过X射线衍射、X射线光电子能谱、原子力显微镜...