正弦调制论文

基于利特罗式激光反馈光栅干涉的微位移测量技术
论文摘要通过在激光反馈干涉(LFI)系统中引入衍射光栅,提出了一种基于利特罗结构的激光反馈光栅干涉(LFGI)技术,用于一维和二维精密位移的测量。半导体激光器出射的光束以利特罗...