原子层气相沉积论文

蓝宝石单晶光纤包层制备的研究
论文摘要本论文具体阐述了两种工艺方法:低压化学气相沉积法（LPCVD）和原子层沉积法（ALD）以在蓝宝石单晶光纤表面沉积薄膜。目的是想制备与蓝宝石光纤具有良好兼容性和稳定性的光...