原位退火论文

论文摘要采用磁控溅射法和原位退火工艺在钠钙玻璃衬底上制备Mg2Si薄膜.首先在钠钙玻璃衬底上交替溅射沉积两层Si、Mg薄膜,冷却至室温后原位退火4h,制备出一系列Mg2Si薄膜...