硬度薄膜论文

论文摘要为扩展TiAlN和TiCN薄膜的应用,以适应高速切削和绿色干式切削加工技术发展趋势和要求,采用工业化多弧离子镀在工业用钢H13表面制备TiSiCN硬质薄膜,以改善H13...