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两段PTSA法制备电子级液体CO2技术及工业化应用
论文摘要介绍了四川天一科技股份有限公司自主研发的两段PTSA法制备电子级液体CO2技术,该技术以富CO2的气体作为原料,提纯得到电子级液体CO2,产品符合半导体行业的质量要求。...