液滴外延论文

Ga沉积量对形成AlGaAs表面纳米结构的影响
论文摘要利用液滴外延技术在Al0.4Ga0.6As表面制备了纳米结构并用原子力显微镜进行表征,发现纳米结构的密度随金属Ga沉积量的增加呈先增加后减小再增加的趋势。这种密度异常变...