亚真空环境论文

锆钒铁在亚真空领域净化的应用
论文摘要本文通过设计研制了在充入高纯度惰性气体的亚真空环境中,即几百帕到上千帕的环境中使用的净化装置,通过研究净化装置中主要成分锆钒铁的吸气特性,验证了在亚真空状态下锆钒铁仍可...