阳极键合论文

Si-glass-Al阳极键合电流特性及其力学性能
论文摘要采用两步法实现了Si-glass-Al的可靠连接,提出了键合三层晶片的电流-时间模型.键合电流结果表明,两次阳极键合的电流变化规律一致,即先迅速增加至最大值,然后呈指数...