氧等离子体论文

(100)/(111)面金刚石膜抗氧等离子刻蚀能力
论文摘要使用微波等离子体技术（microwaveplasmachemicalvapordeposition,MPCVD）对膜厚100μm的（100）和（111）晶面金刚石膜进行...
多层介质膜脉宽压缩光栅清洗方法研究
论文摘要采用SPM（Sulfuric-PeroxideMixtures,98wt%H2SO4+30wt%H2O2）+兆声（方法1）和氧等离子体+HPM（Hydrochloric...