压电式压力传感器论文

压电式MEMS麦克风论文和设计-段炼
全文摘要本实用新型提供了一种压电式MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的压电振膜，所述压电振膜被分割成多个相互独立的膜片，每一所述膜片包括与所述基底连接的固定...
电流偏压电路、MEMS传感器及智能电子设备论文和设计-林庆宗
全文摘要本实用新型公开一种电流偏压电路、MEMS传感器及智能电子设备，该电流偏压电路包括：温敏电阻式温度补偿电路，被配置为对接入的电流进行温度补偿；偏压电流产生电路，偏压电流产...