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    压电式MEMS麦克风论文和设计-段炼

    全文摘要本实用新型提供了一种压电式MEMS麦克风,其包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的压电振膜,所述压电振膜被分割成多个相互独立的膜片,每一所述膜片包括与所述基底连接的固定...
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    电流偏压电路、MEMS传感器及智能电子设备论文和设计-林庆宗

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