亚波长结构论文

亚波长光栅负折射透镜的柱矢量光束聚焦特性
论文摘要研究亚波长负折射光栅透镜的柱矢量光束聚焦效应,探索并分析光栅的材料、几何参数等对聚焦效果的影响。亚波长光栅的-1级衍射效应可实现等效负折射现象,结合等光程原理可设计出聚...
基于样品旋转的亚波长光刻理论研究
论文摘要亚波长结构在微纳光学领域具有重要和广泛的应用,其制备通常采用化学合成或亚波长光刻的方法。表面等离子体干涉光刻在成本和分辨率方面均有一定的优势,因而受到研究人员的青睐,但...
数字型硅基亚波长光子器件的高效反向设计研究
论文摘要片上光互联的出现为微电子集成电路在速度、功耗、延迟、噪声等方面的瓶颈迎来转机。在保持优良的性能的前提下,进而不断减小集成光子器件的物理尺寸、实现高度片上光子集成,这是决...