悬丝支撑论文

新型悬丝约束支撑微纳测头的变刚度特性分析
论文摘要针对传统微纳测量装置在测量过程中测头支撑机构刚度不可变化的问题,设计了一种基于悬丝约束支撑的变刚度微纳测头。利用压电装置驱动柔顺导向机构产生位移,以改变悬丝所受的轴向张...