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半导体器件论文和设计-M·马德浩克卡
全文摘要本实用新型公开了一种半导体器件,其包括具有相对的第一主表面和第二主表面的半导体材料区域。沟槽结构包括从所述第一主表面延伸到所述半导体材料区域中的沟槽,其中所述第一主表面...