五氧化二钽论文

低损耗1080 nm高功率激光高反膜元件的研制
论文摘要针对1080nm连续激光光学系统中反射镜的需求,设计了低损耗高反膜膜系,优化了膜系中的电场分布,对高反膜元件工艺体系进行了控制。采用离子束溅射工艺,成功地在超光滑石英玻...