微细流路论文

论文摘要目的解决微细流路芯片中微细流路制备时,传统加工工艺存在的效率低下等问题。方法采用飞秒激光加工碳化钨模具,进行工艺研究。对扫描功率、扫描速度、扫描层数等参数进行田口正交实...