• 微细中空电极流速测试及侧壁绝缘层制备工艺比较

    微细中空电极流速测试及侧壁绝缘层制备工艺比较

    论文摘要针对孔径100~200μm、采用中空供液工艺的高深宽比微细电解加工中,中空电极流速难以在线测量,侧壁绝缘层易出现损伤、脱落等问题,利用不同压力下流速雾化现象在光照下的差...
  • 阵列微坑的固态微细电解加工工艺试验

    阵列微坑的固态微细电解加工工艺试验

    论文摘要针对传统微细电解加工存在的不足,提出了一种固态微细电解加工方法.使用PEO与NaNO3制备固态电解质,其表面用热压印加工出复杂的微细形貌.研究了不同的加工电压、加工时间...
  • 微流控芯片注塑模具的微细电解加工

    微流控芯片注塑模具的微细电解加工

    论文摘要基于电解加工电极不损耗的优势,研究了一种微细电解加工微流控芯片注塑模具微结构的工艺,针对微小V型槽和微孔,解决微细电极在线制备和测量、微结构成形精度、群微结构加工等关键...