微凸点阵列论文

基于电铸微凸点形貌演变制作微透镜阵列研究
论文摘要微凸点阵列器件的制备及其一致性是微加工领域的难点问题。使用有限元方法对镍电铸过程中的流场分布、反应离子的物质输运以及电化学反应动力学进行耦合,结合网格变形几何技术,实现...