微纳制造论文

论文摘要设计制造了一种改进的双螺旋结构MEMS加热器,可用于高温气体传感器作为加热和传感单元。该MEMS加热器以Si为基底,SiO2/Si3N4纳米薄膜作为绝热层,Pt/Ti金...

论文摘要建立了基于飞秒激光抽运-探测原理的时间分辨阴影成像平台,直接获取了飞秒激光烧蚀石英微孔的超快过程图像。在不同能量密度、时间延迟、脉冲数量条件下,观察到随时间延迟变化的等...