微纳加工工艺论文

强耦合串联石墨烯纳米机械振子
论文摘要与微米机械振子相比,纳米机械振子使用纳米级材料制备,尺寸更小,质量更轻,它作为探测器,在探测力、质量等物理量时拥有更高的灵敏度.石墨烯有高强度、低密度等优良的机械特性,...