微脉冲论文

倍频微脉冲复合高功率磁控溅射TiCN薄膜结构及性能研究
论文摘要如何提高高功率磁控溅射技术（HIPIMS）的沉积速率一直是PVD领域的研究热点,微脉冲复合高功率磁控溅射技术由于其在常规HIPIMS的单脉冲内耦合多个微脉冲,不仅进一步...