微流控模具论文

紫外光刻干膜微流控模具制作研究
论文摘要提出了一种基于感光干膜的微流控模具制作方法。以50μm厚的感光干膜为主要原材料,设计并制作了不同微流道结构的干膜微流控模具。针对紫外曝光和显影主要环节的关键实验参数进行...