微机电系统加工技术论文

基于二极管电爆炸的单触发开关导通机理
论文摘要采用磁控溅射、紫外光刻、化学气相沉积等微机电加工技术,制备了基于Schottky结二极管和p-n结二极管的两种单触发开关,分析了无负载时它们的放电特性,两种开关在0.2...