微加工论文

太赫兹频率选择表面及折叠波导技术研究
论文摘要频率选择表面和折叠波导分别是电磁波选择和传输的重要器件。频率选择表面是通过基本单元在二维平面的周期性延伸形成的一种空间滤波器,通过对其结构参数的设计达到对特定频段电磁波...
一种准分子激光曲面微加工过程补偿装置
论文摘要准分子激光直写在曲面加工情形下的加工效果将呈现出加工不均匀、加工线宽不一致等现象。为了实现准分子激光曲面微加工过程中对加工位置的监测补偿。在装置运行前选取基准距离,在装...
铝硅酸盐玻璃的激光微加工技术研究
论文摘要近年来,超快激光微加工快速的发展,可广泛应用于微电子、显微外科和工业加工等领域。超快激光可烧蚀和微加工几乎所有类型材料,只要使用一组最佳的加工参数,便可以在微米精度上控...
曲面仿生复眼成像系统设计及微加工技术研究
论文摘要随着光学应用范围越来越广泛,人们对光学成像系统的性能要求越来越高。单孔径的成像系统因其视场等特点的局限性,已经无法满足人们对大视场成像、目标精确定位和测量等应用需求。受...