微构件论文

论文摘要针对MEMS微构件表面缺陷的问题,分析了其表面缺陷的基本特征、种类和检测方法,提出了利用显微机器视觉技术来检测MEMS微构件表面缺陷,并对显微机器视觉检测关键技术进行了...