微电子机械系统原子气室论文

芯片原子钟MEMS原子气室数字温控系统设计
论文摘要芯片原子钟（CSAC）可以提供精准的时间基准,具有较好的应用前景。利用微型PIC?单片机和增量式比例-微分-积分（PID）算法设计了一种CSAC微电子机械系统（MEMS...