微电子机械系统加热器论文

一种改进的双螺旋结构MEMS加热器的设计和制造（英文）
论文摘要设计制造了一种改进的双螺旋结构MEMS加热器,可用于高温气体传感器作为加热和传感单元。该MEMS加热器以Si为基底,SiO2/Si3N4纳米薄膜作为绝热层,Pt/Ti金...