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半导体材料电火花线切割新型弯丝检测方法研究
论文摘要电火花线切割半导体材料时,由于材料体电阻较大且存在接触势垒,即使在与电极丝发生接触构成电路短路的情况下,也能继续加工。由于放电间隙狭窄及工作液干扰严重,难以安装常规的传...