团簇沉积薄膜论文

低能Cu13团簇沉积薄膜的分子动力学模拟研究
论文摘要利用分子动力学模拟方法对Cu13团簇在Fe（001）表面上沉积薄膜进行了研究,分析了不同沉积条件对薄膜生长模式的影响,对比分析了不同沉积条件下表面粗糙度、缺陷分布和外延...