筒形阴极论文

外扩型电磁场控制筒形阴极内等离子体放电输运特性的仿真研究
论文摘要筒形阴极由于具有向内放电的特性,可改善高功率脉冲磁控溅射技术放电不稳定、溅射材料离化率差异大等缺陷.然而其产生的等离子体仅能依靠浓度差扩散的方式向基体运动,沉积速率并没...