铜互连论文

LCP系统集成技术中一种新型的垂直互连工艺
论文摘要液晶高分子聚合物(Liquidcrystalpolymer,LCP)作为一种新型的射频电子基板,广泛应用于射频电路系统集成。为了实现系统的小型化,垂直互连工艺被广泛用于...