铜铬氧薄膜论文

退火温度对溅射法沉积Cu-Cr-O薄膜性能的影响
论文摘要使用CuCrO2陶瓷靶材,利用射频磁控溅射方法在石英衬底上沉积了Cu-Cr-O薄膜,研究了退火温度对Cu-Cr-O薄膜结构及光电性能的影响。X射线衍射分析显示,退火温度...