同步辐射光电子能谱论文

InSb/HfO2堆栈在原位退火过程中利用同步辐射光电子能谱对元素扩散的研究
论文摘要InSb作为重要的Ⅲ-Ⅴ族半导体材料已经应用在光电探测器、中红外激光器等领域,但InSb与氧化物的界面质量对制造高性能器件仍然至关重要。通过对InSb/HfO2堆栈在3...