条纹状纳米结构论文

低能Kr+离子束诱导蓝宝石晶体实验研究
论文摘要使用微波回旋共振离子源制备蓝宝石（A向）自组织纳米结构,研究不同入射角度下Kr+离子束刻蚀蓝宝石表面形成的自组织纳米结构及其形成过程.采用等离子体与离子束刻蚀设备在不同...