探针缺陷论文

接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
论文摘要针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题,采用半导体工艺技术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置检查图...