碳膜论文

脉冲负偏压对直流磁控溅射碳膜结构和性能的影响
论文摘要通过直流磁控溅射技术在基体（硅片、高速钢、钢片）上沉积碳膜。保持其它工艺参数基本恒定,探究薄膜在100V-400V脉冲负偏压下,结构和性能的变化规律。实验结果表明,这种...
氯乙酸水溶液中低电压沉积碳膜研究
论文摘要采用电化学沉积技术,在较低的电压(8～11V)下,以氯乙酸为碳源、甲酸钠为支持电解质,在304不锈钢基体上电沉积制备碳膜,研究了沉积电压、沉积时间及氯乙酸质量浓度对碳膜...