碳化硅单晶材料论文

碳化硅单晶材料残余应力检测技术研究进展
论文摘要SiC单晶材料被称为第三代宽带隙半导体材料,凭借强度高、化学性质稳定、抗干扰能力强等优势被广泛应用于军工、核能和电子等领域。然而SiC单晶在制备、加工和使用过程中,往往...