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蝶形天线增强的InP基室温HEMT太赫兹探测器研究
论文摘要采用分子束外延技术制备了InP基HEMT样片,室温下样片迁移率达10289cm2/(V·s)。通过光刻、腐蚀、磁控溅射、点焊等工艺技术制备出了蝶形天线耦合的太赫兹探测器...