四步相移法论文
非平行光干涉照明显微镜三维形貌检测研究
论文摘要为实现表面微观形貌快速而较简单的检测,一种使用非平行光干涉照明的光学显微三维形貌检测方法被提出。该方法使用空间光调制器对激光光束进行衍射,选取光强相近的2个衍射级通过显...基于系统非线性校正与滤波的相位测量
论文摘要相位测量系统中投影仪输出与CCD输入变形条纹光强之间的非线性导致频谱混叠,影响测量精度,为了消除他们之间的非线性关系,提高相位测量精度,分析了系统非线性产生的基本原因,...基于机器视觉的镜面面形检测算法研究与应用
论文摘要针对大面积镜面面形测量,提出了基于机器视觉与镜面条纹反射的面形精密测量、三维重建和面形拼接算法,并设计了面形检测系统。该系统采用相机拍摄定日镜反射的条纹图像,通过四步相...