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双驱论文
双驱论文
单晶炉双驱感应加热温度场的数值模拟与实验研究
论文摘要随着电子技术的发展,越来越多的半导体材料引起众多研究者的关注,因此半导体材料特别是相对应高质量单晶体的制备成为了研究重点。影响单晶体质量的因素有许多,包括热场条件、加热...