双频激光干涉仪论文

小型精密谐波转台角度定位精度标定与补偿
论文摘要为了解决应用于关节型三维激光传感器的小型谐波转台角度定位精度标定的问题,提出了一种基于Renishaw双频激光干涉仪的单自由度小型谐波转台旋转角度测量和补偿方法。首先依...