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微型化器件中多晶Cu晶向排布对其受压力学特性的影响仿真研究
论文摘要为系统研究多晶Cu材料晶向排布对其受压力学特性的影响,通过采用晶体塑性有限元的方法模拟了不同晶向Cu的纳米压痕试验过程。仿真结果表明,从受力变形特点来看,当载荷为几何对...