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脉冲调制射频感性耦合Ar/O2及Ar等离子体的实验诊断研究
论文摘要随着半导体技术的飞速发展,半导体器件的特征尺寸变得越来越小,集成电路的结构也变得越来越复杂。因此,在半导体芯片生产过程中,起关键作用的等离子体刻蚀技术需要进行更加精确的...