• 时间监控法制备窄带滤光膜系工艺技术

    时间监控法制备窄带滤光膜系工艺技术

    论文摘要基于规整全介质窄带滤光膜系初始结构,采用光学薄膜软件中单纯形算法优化出了所需光谱特性曲线,并对制备结果进行了拟合反演,依靠时间监控的离子束溅射镀膜机制备了中心波长950...